一种离子源阴极防打火用盖合装置

摘要

本实用新型公开了一种离子源阴极防打火用盖合装置，涉及镀膜技术领域，包括霍尔离子源本体、第一盖筒本体和第二盖筒本体，第一盖筒本体和第二盖筒本体均由耐高温不导电的陶瓷材料加工而成，第一盖筒本体上设有插接槽，插接槽的开口从下往上变化趋势为由大变小；第一盖筒本体和第二盖筒本体可拆卸地安装在霍尔离子源本体上的加固框内。本实用新型通过利耐高温不导电的陶瓷材料一体化加工成的盖筒，防止打火过程中产生粉末，并且盖筒本体通过加固框的固定，便于拆卸和安装，方便清洁；只需要从下往上移动阴极丝，使得阴极丝能够卡接在插接槽对应的位置，具有操作简单，实施方便，便于操作的优点。