公开/公告号CN111140856A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-12
原文格式PDF
申请/专利权人 启源新能源科技(张家口)有限公司;
申请/专利号CN201911410609.5
申请日2019-12-31
分类号F23G7/00(20060101);F23G5/027(20060101);F23G5/08(20060101);F23G5/44(20060101);F23G5/033(20060101);F23J15/02(20060101);F23J15/06(20060101);B01D53/50(20060101);B01D53/56(20060101);
代理机构51268 成都虹盛汇泉专利代理有限公司;
代理人周敏
地址 610200 四川省成都市双流区西航港大道中四段1455号
入库时间 2023-12-17 08:34:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-05
实质审查的生效 IPC(主分类):F23G7/00 申请日:20191231
实质审查的生效
2020-05-12
公开
公开
机译: 等离子体处理系统的成员,处理系统的成员,等离子体处理系统,处理系统和等离子体处理方法
机译: 盖板,包括该盖板的等离子体处理系统以及等离子体处理系统的等离子体处理方法
机译: 用于原位清洁的等离子体清洁环,包括等离子体环的等离子体处理设备,包括等离子体清洁环的等离子体处理系统以及使用等离子体清洁环的等离子体处理方法