一种聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法

摘要

一种聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法，本发明涉及清理透射电子显微镜光阑的方法。本发明要解决现有透射电子显微镜中的光阑污染及堵塞后无法清理的问题。方法：一、透射电子显微镜光阑固定与区域观察；二、透射电子显微镜光阑粗加工；三、透射电子显微镜光阑细加工；四、透射电子显微镜光阑精加工，即完成聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法。本发明适用于清理透射电子显微镜光阑。