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公开/公告号CN111206240A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-29
原文格式PDF
申请/专利权人 山东大学;
申请/专利号CN202010054683.4
发明设计人 赵冠琳;张敏;刘树帅;邹勇;王新洪;
申请日2020-01-17
分类号C23C18/50(20060101);C23C18/18(20060101);
代理机构37221 济南圣达知识产权代理有限公司;
代理人郑平
地址 250061 山东省济南市历下区经十路17923号
入库时间 2023-12-17 08:34:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/50 申请日:20200117
实质审查的生效
2020-05-29
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