基于光栅耦合的硅基光电子芯片晶圆级在线测试装置

摘要

本发明公开了一种基于光栅耦合的硅基光电子芯片晶圆级在线测试装置，涉及硅光子与光电子集成领域。该装置用于实现片上器件的晶圆级在线测试与偏振相关损耗测试，该装置包括至少一组测试结构，每组测试结构包括TE偏振光栅、TM偏振光栅、级联TE偏振光栅与TM偏振光栅的偏振旋转合束器、与偏振旋转合束器相连的第一端面耦合器和形成于划片槽中分别与所述第一端面耦合器、片上器件的第二端面耦合器相连的偏振无关模式转换器。本发明能实现片上器件晶圆级在线测试与偏振相关损耗测试，有效降低硅基光电子芯片的测试成本。