制氧用透明电极、该透明电极的制造方法、具备该透明电极的串联型水分解反应电极，以及使用该透明电极的氧发生装置

摘要

一种制氧用透明电极的制造方法，所述制氧用透明电极在透明基板上具有钽氮化物层，所述制造方法其包括以下步骤：在透明基板上形成钽氮化物前驱体层的步骤，以及通过含氨和载气的混合气体使所述钽氮化物前驱体层氮化的步骤。