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光学系统中像差校正的系统的方法

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摘要

本文描述的为用于光学系统的衍射光栅(1)。该衍射光栅包括基底(2)和横穿基底设置在光栅轮廓中的一组细长的衍射元件(3)。该光栅轮廓给予光束预定的相变，以至少部分地校正存在于光学系统中的光束的光学像差。

1. 物镜像差校正镜及像差校正方法和光学系统、光刻机 [P] . 中国专利： CN107797218B . 2020.01.24
2. 光学系统中像差校正的系统的方法 [P] . 中国专利： CN111190246A . 2020-05-22
3. 2-LENS OPTICAL SYSTEM SCANNING TYPE ABERRATION CORRECTED FOCUSED ION BEAM DEVICE, 3-LENS OPTICAL SYSTEM SCANNING TYPE ABERRATION CORRECTED FOCUSED ION BEAM DEVICE, AND 2-LENS OPTICAL SYSTEM PROJECTION TYPE ABERRATION CORRECTED ION LITHOGRAPHY DEVICE AS WELL AS 3-LENS OPTICAL SYSTEM PROJECTION TYPE ABERRATION CORRECTED ION LITHOGRAPHY DEVICE [P] . 日本专利： JP2007287495A . 2007-11-01

机译： 2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置，3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统，3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
4. METHOD FOR CORRECTING ABERRATION OF OPTICAL SYSTEM AND PROJECTING EXPOSURE DEVICE PROVIDED WITH ABERRATION CORRECTING OPTICAL SYSTEM [P] . 日本专利： JPH09329742A . 1997-12-22

机译：校正光学系统像差的方法和投影由像差校正光学系统提供的曝光设备
5. THERMAL ABERRATION CORRECTING METHOD, METHOD FOR SIMULTANEOUSLY CORRECTING THERMAL ABERRATION AND CHROMATIC ABERRATION, AND INFRARED RAY OPTICAL SYSTEM [P] . 日本专利： JP2001188166A . 2001-07-10

机译：热像差校正方法，同时校正热像差和色像差的方法以及红外光学系统