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由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法

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摘要

本发明公开了一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该树脂单体的结构通式为：

1. 由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法 [P] . 中国专利： CN111100007A . 2020-05-05
2. 由戊醛糖合成的光刻胶树脂单体及其合成方法 [P] . 中国专利： CN111116605B . 2021.06.04
3. METHOD OF SYNTHESIS OF ISOXAZOLIDINEDIONE COMPOUND, METHOD OF SYNTHESIS OF OXAZOLYLETHANOL COMPOUND (VARIANTS), METHOD OF SYNTHESIS OF ASPARTATE COMPOUND, METHOD OF SYNTHESIS OF OXAZOLYLACETATE COMPOUND, METHOD OF SYNTHESIS OF METHANESULFONATE COMPOUND, METHOD OF SYNTHESIS OF BENZYLIDENE COMPOUND [P] . 俄罗斯专利： RU2180663C2 . 2002-03-20

机译：异恶唑烷二酮化合物的合成方法，杂唑醇化合物的合成方法，各种化合物的合成方法，草酸乙二酸酯化合物的合成方法，甲磺酸甲酯化合物的合成方法，苯的合成方法
4. METHOD FOR MANUFACTURING terthiophene-3-carboxylic acid compounds of novel, functional conductive terthiophene polymer with a monomer the compound, DNA hybridization detection method using the polymer, and method of manufacturing the probe DNA [P] . 日本专利： JP2005507389A . 2005-03-17

机译：新型，功能性导电性噻吩聚合物与单体的合成方法：噻吩-3-羧酸化合物，使用该聚合物的DNA杂交检测方法以及探针DNA的制造方法
5. Monomers, polymers, methods of synthesis thereof and photoresist compositions [P] . 美国专利： US7022454B2 . 2006-04-04

机译：单体，聚合物，其合成方法和光刻胶组合物