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一种基于镀金振动薄膜的光纤声振动传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于镀金振动薄膜的光纤声振动传感器及其制作方法,其结构包括振动膜片(1)、端面含有五氧化二钽镀层的单模光纤(3)和传感头的支撑结构,所述振动膜片(1)内表面设置有金镀层(4),所述振动膜片(1)与端面含有五氧化二钽镀层的单模光纤(3)之间设置有通孔(2),所述传感头的支撑结构由通孔(2)、D型管(5、毛细管(6)和环氧树脂胶层(7)构成,所述端面含有五氧化二钽镀层的单模光纤(3)与振动膜片(1之间形成谐振微腔。本发明解决了在有效保证高反射率的同时,提高有效测量带宽,提升干涉信号质量的技术问题。

著录项

  • 公开/公告号CN111044137A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 天津大学;

    申请/专利号CN201910855438.0

  • 申请日2019-09-10

  • 分类号

  • 代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所;

  • 代理人李素兰

  • 地址 300072 天津市南开区卫津路92号

  • 入库时间 2023-12-17 07:47:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01H9/00 申请日:20190910

    实质审查的生效

  • 2020-04-21

    公开

    公开

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