台阶结构的空隙被部分填充的谐振器、滤波器及电子设备

摘要

本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，且具有电极连接部；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述顶电极的边缘设置有悬翼结构和/或桥部结构，所述悬翼结构和/或桥部结构下方具有空隙；所述谐振器还包括填充层，所述填充层仅填充所述空隙的一部分。本发明还涉及一种具有该体声波谐振器的滤波器，以及一种具有该滤波器的电子设备。