公开/公告号CN101895246B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-10-31
原文格式PDF
申请/专利权人 上海新进半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201010195275.7
申请日2010-06-08
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人逯长明
地址 200241 上海市徐汇区宜山路800号
入库时间 2022-08-23 09:11:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-10-31
授权
授权
2011-01-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H02P 6/08 申请日:20100608
实质审查的生效
2010-11-24
公开
公开
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