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辐射探测器、操作辐射探测器的方法以及制造辐射探测器的方法

摘要

提供了一种具有多个像素的辐射探测器。多个像素中的相应一个像素包括:基底基板;薄膜晶体管,其位于所述基底基板上;绝缘层,其位于所述薄膜晶体管的远离所述基底基板的一侧;光传感器,其位于所述绝缘层的远离所述基底基板的一侧;钝化层,其位于所述光传感器的远离所述基底基板的一侧;闪烁层,其位于所述钝化层远离所述基底基板的一侧;以及反射层,其位于所述闪烁层的远离所述基底基板的一侧。所述光传感器包括与所述钝化层直接接触的第一极性层。所述第一极性层的除了所述光传感器内部的侧面之外的所有侧面与所述钝化层完全直接接触。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/146 申请日:20191025

    实质审查的生效

  • 2020-03-31

    公开

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