在互连金属化中沉积钌层

摘要

提供了用于钌(Ru)特征填充的沉积工艺。在一些实施方案中，所述工艺包括在还原条件下沉积薄的、保护性Ru膜，然后在氧化条件下进行Ru填充步骤。在无氧条件下或通过除氧操作形成的保护性Ru膜的存在可以使Ru填充而不会氧化下面粘附层或金属特征。