一种具有非对称限制层的VCSEL及其制作方法

摘要

本发明提供一种具有非对称限制层的VCSEL及其制作方法，VCSEL包括衬底，以及自下而上依次层叠于所述衬底上的N型DBR层、N型限制层、有源区、P型限制层、氧化层和P型DBR层；所述N型限制层包括多层自下而上依次设置的第一AlGaAs层，所述P型限制层包括多层自下而上依次设置的第二AlGaAs层；多层所述第一AlGaAs层的Al组分随厚度升高呈波动的阶梯分布，多层所述第二AlGaAs层的Al组分随厚度升高呈波动的阶梯分布，所述N型限制层与所述P型限制层互为非对称结构。电子和空穴被有效限制在有源区，辐射复合高；并且能够改变光场分布，降低光吸收和光散射，提高增益。