电子扫描方法以及电子扫描装置

摘要

本申请公开了一种电子扫描方法以及电子扫描装置，该方法包括：获取多帧扫描图像，多帧扫描图像中的每一帧扫描图像是从一个预定扫描方向对目标晶圆的一个预定区域进行电子扫描得到的局部扫描图像，预定扫描方向包括沿目标晶圆的水平方向、沿目标晶圆的垂直方向以及沿目标晶圆倾斜方向；根据多帧扫描图像合成得到目标扫描图像；根据目标扫描图像计算得到所述目标晶圆上的图形的特征尺寸。由于目标扫描图像是基于从多个预定扫描方向扫描目标晶圆上的多个预定区域得到的扫描图像合成得到的，因此目标扫描图像上的扫描图形具有较为清晰边界，能够提高计算特征尺寸的准确度。