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一种用于产品切割后处理的Dry Block板及其加工方法

摘要

一种用于产品切割后处理的Dry Block板及其加工方法,Dry Block板包括固定外壳、真空吸附面以及Dry Block定位孔;固定外壳为板状结构,所述的真空吸附面布置在固定外壳的表面,用于放置塑封体;真空吸附面上加工有真空孔,真空吸附面采用橡胶面,在气流吸附作用下使塑封体固定在真空吸附面上;所述的Dry Block定位孔开设在固定外壳上,其能够与其他机构的定位销相配合。本发明真空吸附面减少了真空吸附部位与塑封体之间的空隙,提高塑封体面与真空吸附面接触后的真空能力,使用过程不会产生金属毛刺异常。

著录项

  • 公开/公告号CN110970341A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华天科技(西安)有限公司;

    申请/专利号CN201911267881.2

  • 发明设计人 安振;

    申请日2019-12-11

  • 分类号

  • 代理机构西安通大专利代理有限责任公司;

  • 代理人房鑫

  • 地址 710018 陕西省西安市经济技术开发区凤城五路105号

  • 入库时间 2023-12-17 07:17:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20191211

    实质审查的生效

  • 2020-04-07

    公开

    公开

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