缝模涂布设备和缝模涂布方法

摘要

一种用于在基底(1)的基底表面(1s)上制造图案涂布层(3)的缝模涂布设备，包括：缝模涂布头(2)、受控的涂布流体供应系统(7)，以及用于承载基底(1)的基底载体(6)。缝模涂布头(2)包括用于从涂布流体供应系统接收涂布流体的入口(21)，以及狭缝形流出开口(22)，该狭缝形流出开口连通地耦接到入口并具有狭缝方向。受控的涂布流体供应系统(7)以第一模式(M1)和第二模式(M2)交替地操作，在第一模式中，将涂布流体的流提供到狭缝形流出开口(22)之外以沉积在基底表面上，在第二模式中，使在狭缝形流出开口(22)之外的涂布流体在基底表面上的沉积中断(21)。涂布头(2)具有从入口(21)延伸到狭缝形流出开口(22)的内部的涂布流体轨迹。以向下游的顺序，涂布流体轨迹包括：横向分布部分(23)，用于将流体的流分布在所述狭缝方向上；收集通道(24)，横向于下游方向延伸；以及流阻输出部分(25)。在从第一模式(M1)转换为第二模式(M2)时，涂布流体供应系统(7)从连通地耦接到收集通道(24)的缝模涂布头(2)的至少一个出口(26)抽吸涂布流体。