一种洁净厂房采用微振支座解决微振的做法

摘要

本发明公开了一种洁净厂房采用微振支座解决微振的做法；构建防微振平台，基础采用桩筏基础，根据设备防微振需求以及工艺使用需求，一层大部分区域整体下沉2.0 m，即结构筏板顶标高为‑2.0m，现场高架地板高度约2.0米，采用一体成型钢构平台；本发明阐述洁净厂房采用微振支座的方法解决微振问题的一些做法和创新；厂房建成后，选取了多个点位进行微振测量，基座测试方式为：(1)微振测试：依照业主及工艺专业提供指标进行测试，分别测试X、Y、Z三轴向。(2)水平测试：所有的设备基础表面都要作水平测试，表面水平度误差应小于2mm/m。结果显示上述结构形式提高了结构的整体刚度，满足设备的防微振要求。微振支座是解决洁净厂房微振问题的有效方法之一。