易于设置的半导体及液晶显示器制造工序的废气加热用三重管加热装置

摘要

本发明涉及具有三重管结构，以在不使用氮气的情况下仅用少量的热量就能够有效加热废气，并且可以伸缩及弯曲，从而易于设置且可以快速检测废气泄漏及过热的半导体及液晶显示器制造工序的废气加热用三重管加热装置。