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显微镜以及在可变机械参数下显微检查样本的方法

摘要

本发明涉及一种显微镜以及一种显微检查样本的方法,其中,在显微镜中,机械参数(θ)是可变的。在方法的一个步骤中,选取机械参数(θ)的待调整出的第一值(θ

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B21/24 申请日:20180511

    实质审查的生效

  • 2020-02-14

    公开

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