一种多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法

摘要

本发明公开了一种多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法。步骤为：有3个球面镜头，分别为A、B、C；球面B作为参考面，球面A作为测试面，进行一次干涉测量；球面B作为参考面，球面A逆时针绕轴旋转90度后作为测试面，进行一次干涉测量；球面C作为参考面，球面A保持第一次测量时的位置作为测试面，进行一次干涉测量；球面C作为参考面，球面B作为测试面，进行一次干涉测量；综合测量结果，利用奇偶函数分解和Fourier级数选频方法，分解得到球面A、B、C的奇偶函数各项并得到球面A、B、C各自的绝对面形分布。本发明测量次数少、简单易行、精确高效，测量结果能够尽可能保证各自面形在所有频率的信息。