包含具有电阻加热器的微热板的气体传感器及相关方法

摘要

一种微热板，所述微热板包括悬置在衬底上方的膜，所述膜通过连接在所述衬底与所述膜之间的多个系链悬置在所述衬底上方。所述膜包括电阻加热器，所述电阻加热器包括导电材料，所述导电材料从所述膜的外围部分到所述膜的中心具有变化的宽度。所述导电材料包括在第一方向上成螺旋形的第一部分，以及在第二方向上成螺旋形且在所述膜的所述中心与所述第一部分电接触的第二部分。所述微热板进一步包括在第一系链上方延伸且与所述衬底上的接合焊盘和所述第一部分电接触的第一导电迹线，和在另一系链上方延伸且与所述衬底上的另一接合焊盘和所述第二部分电接触的第二导电迹线。还公开检测至少一种分析物的相关化学传感器和相关方法。