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具有高透射率的窄带滤波器

摘要

本申请的各个实施例涉及一种具有高透射率的窄带滤波器和包括窄带滤波器的图像传感器。在一些实施例中,滤波器包括第一分布式布拉格反射器(DBR)、第二DBR、位于第一和第二DBR之间的缺陷层、以及多个柱状结构。柱状结构延伸穿过缺陷层并具有与缺陷层的折射率不同的折射率。第一和第二DBR限定低透射带,并且缺陷层限定划分低透射带的高透射带。柱状结构将高透射带移向更低或更高的波长,这取决于柱状结构的折射率和柱状结构的填充因子。本发明实施例涉及具有高透射率的窄带滤波器。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/146 申请日:20190115

    实质审查的生效

  • 2020-02-11

    公开

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