一种基于氮化镓/铝镓氮异质结的磁场传感器

摘要

本发明提出的新型磁场传感器直接将磁敏感晶体管与电阻形成的差分放大电路集成在氮化镓/铝镓氮的高电子迁移率的异质结衬底上，将传感与放大部分集成，无需额外的传感器。其具有体积小，集成度高的优点。此外，由于本发明的磁场传感器建立在氮化硅/铝镓氮衬底上，高电子迁移率带来高灵敏度的优点，而宽禁带使得器件具有耐高温和环境干扰的特性。此外，本发明的磁场传感器还可以与其他功能部件，如射频模块等，共集成在同一衬底上，从而实现具有不同功能应用的系统。