形成下层膜的组合物、图案形成方法及形成图案的下层膜形成用共聚物

摘要

本发明提供一种形成下层膜的组合物，该形成下层膜的组合物的材料对有机溶剂的溶解度较高，可通过在大气下且相对低温的加热处理而形成难以破裂的下层膜，在形成有下层膜的情况下对于有机溶剂的涂布膜残留率较高。本发明是一种形成下层膜的组合物及图案形成方法，该形成下层膜的组合物包含共聚物及有机溶剂，共聚物具有聚合部a及聚合部b，聚合部a具有糖衍生物部，糖衍生物部为五碳糖衍生物部及六碳糖衍生物部中的至少一者，聚合部b不具有糖衍生物部，该形成下层膜的组合物为用于图案形成的下层膜形成用。