一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法

摘要

本发明公开了一种控制平台出板位置的激光直写曝光系统及曝光方法，属于激光直写曝光技术领域。所述系统根据板材资料输入装置输入的待曝光板材资料计算工件台出板距离，并根据计算出的出板距离控制工件台将待曝光板材运输至相应的曝光位置，以便曝光设备对板材进行曝光，所述板材资料包括待曝光板材的尺寸信息；有效减少了小尺寸板材曝光时出板的无效距离，减少了曝光时间，有效提高了产能。同时未对设备进行大幅改动，方便后续设备维护。