一种可调控光谱的波导耦合谐振器件

摘要

本发明公开了一种可调控光谱的波导耦合谐振器件，包括基板以及设置于所述基板内部的第一波导、第二波导、第一耦合器、第二耦合器、谐振腔、一个或多个直角形谐振空腔，直角形谐振空腔以及谐振腔依次设于条形的第一波导和第二波导之间，第一耦合器设于第一波导与谐振腔之间，第二耦合器设于第二波导与谐振腔之间并形成有效耦合结构。通过在金属‑介质‑金属波导结构中控制耦合谐振腔的长度、宽度及其与波导的耦合距离；添加耦合谐振腔，调节耦合谐振腔的数量、长度以及耦合谐振腔与波导位置之间的耦合距离，可以调控结构中光谱响应的模数，从而选择输出需要的器件性能并提高纳米集成光学器件的集成度与工作性能。