用于极紫外线辐射源装置的极紫外线导引腔

摘要

一种用于极紫外线(extreme ultra violet；EUV)辐射源装置的极紫外线导引腔，包括EUV收集器镜体与轨迹校正装置。反射层设置于EUV收集器镜体上，并且作为反射表面。轨迹校正装置附接或嵌入于EUV收集器镜体。轨迹校正装置配置以调节金属离子的轨迹朝向EUV导引腔的相对侧并且远离EUV收集器镜体的反射表面。