一种用于超精密飞切机床的纳米进给组件

摘要

本发明涉及超精密加工技术领域，具体涉及一种用于超精密飞切机床的纳米进给组件，所采用的技术方案是：包括支撑部，所述支撑部由若干柔性铰链组成；所述柔性铰链用于固定工作平台，所述柔性铰链由微位移驱动器驱动上下移动；通过各个微位移驱动器驱动柔性铰链上下移动，实现工作平台偏转和/或竖直移动。本发明通过若干微位移驱动器驱动柔性铰链制成的支撑部，从而实现飞切工作平台的偏转和/或上下移动，有效解决现有超精密飞切加工机床存在的切削深度需要人为手工调整、切削深度调整误差较大、单次切削量无法实现亚纳米切削的问题。同时可以提高飞切机床切削加工的效率，减少对工程师操作经验的依赖，进一步提高工件的加工精度。