法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-10-03
授权
授权
2010-09-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20080725
实质审查的生效
2010-08-11
公开
公开
机译: 用于用一种或多种处理液处理微电子工件的工具中的挡板和文丘里管密封系统的冲洗方法以及相关设备
机译: 用于用一种或多种处理液处理微电子工件的工具中的挡板和文丘里容器系统的冲洗方法以及相关设备
机译: 用于通过一种或多种过程流体处理过程的微电子工件中的隔板和文丘里容器系统以及工具的清洁方法和相关设备