一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺

摘要

本发明公开了一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺，其包括以下步骤，步骤一：装料，把多晶硅原料装进石英坩埚中；步骤二：抽真空，关闭炉腔，启动真空泵系统；步骤三：加热，控制温度上升至接近1175℃，然后继续加热升温至硅熔点以上；步骤四：熔化，温度上升到最后的熔化温度1500℃；步骤五：降温拉晶，在融化过程结束后，将温度由1500℃降到1425℃；步骤六：长晶，将温度下降到1385℃‑1405℃,进入长晶过程；步骤七：退火，控制退火温度为1300℃，关闭隔热屏使炉内温度分布均匀，进入冷却阶段；步骤八：当温度降到300℃时，冷却炉子，完成整个长晶循环。本发明的优点：制成的晶粒生长整齐，硅锭性能良好。