电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法

摘要

电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，采用卧式电加热设备，先通过卧式电加热设备对固态纯净物进行加热，使得固态纯净物在卧式电加热设备内加热蒸发升华，再通过热扩散方式使得升华的固态纯净物从卧式电加热设备的侧面运动到收集系统装置内，并在收集系统装置内通过冷凝方式还原成固体固态纯净物，达到从侧面收集升华的固态纯净物的目的。本发明采取卧式电加热设备从侧面收集固态纯净物，有利于电加热设备内的坩埚进出，方便操作，还可以方便实现固态纯净物升华的侧向扩散移动的升华与冷凝收集的分区处理，利用升华后的再次冷凝可以大幅提升固态纯净物的纯度，细化固态纯净物，实现高纯度、高效、细化的固态纯净物收集处理。