一种复合金银纳米阵列结构的SERS基底及其制备方法

摘要

本发明涉及一种复合金银纳米阵列结构SERS基底，属于纳米技术领域。本发明提供的SERS基底包括了表面具有金银复合材料和均匀分布的柱状纳米阵列结构。该SERS基底具有更好的均匀性、化学稳定性和更高的SERS活性，比单金属具有检测优势，而且本专利所涉及的操作方式可控性高，重复性好。本发明还公开了该SERS基底的制备方法，包括以单通AAO为模板，通过涂覆、置换等反应制备双通多孔氧化铝(AAO)的模板；再将双通AAO置于硅片上，通过真空热蒸镀银，获得周期性银圆台阵列结构；最后通过进一步蒸镀不同厚度的金，获得不同形貌的复合金银纳米阵列结构SERS基底。该方法工艺简单，制备成本低，适合于大规模批量生产。