公开/公告号CN110896112A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 上海新微技术研发中心有限公司;
申请/专利号CN201810958988.0
申请日2018-08-22
分类号H01L31/103(20060101);H01L31/0312(20060101);H01L31/0232(20140101);H01L31/18(20060101);
代理机构31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人孙佳胤;陈丽丽
地址 201800 上海市嘉定区城北路235号3号楼
入库时间 2023-12-17 06:00:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/103 申请日:20180822
实质审查的生效
2020-03-20
公开
公开
机译: 波导光电探测器,其制造方法,可用于该波导光电探测器的波导及其制造方法
机译: 光波导,半导体,激光-波导集成器件,半导体激光-波导-光电二极管集成器件,半导体-激光-波导模式匹配集成器件,模式匹配元件的制造方法
机译: 包括集成在波导上的光电探测器的半导体器件及其制造方法