一种周期波浪状纳米孔结构阵列的制备方法

摘要

本发明公开了一种周期波浪状纳米孔结构阵列的制备方法，属于纳米材料合成技术领域，本发明的目的是提供一种周期波浪状纳米孔结构阵列结构，本发明方法以纳米点阵为基础结构，经超声清洗后，通过改变溅射的角度，利用磁控溅射技术制备出了周期波浪状纳米孔结构阵列，本发明方法属于物理沉积方法，溅射材料可以为金属、合金、半导体、氧化物及其相关异质结构，拓宽了目前在纳米孔结构制备材料方面的限制，同时也提供了一种更加复杂的纳米孔结构，有望于在定向输运、偏振、吸收方面有很好的应用。