法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):B23Q17/24 申请日:20190912
实质审查的生效
2020-01-10
公开
公开
机译: 用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的干涉仪
机译: 用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的干涉仪
机译: 激光束角度偏差的测量方法和用于测量激光束角度偏差的干涉仪