一种可防御共振的MEMS传感器及其防御共振方法

摘要

本发明涉及一种可防御共振的MEMS传感器及其防御共振方法，所述传感器包括可变电容、变节距弹性元件、量化模块和电流补偿模块，还包括分别与所述变节距弹性元件的两端电性连接的弹性元件输入引脚和弹性元件输出引脚，所述弹性元件输入引脚和弹性元件输出引脚之间接收刚性控制电流，以改变所述变节距弹性元件的刚性；所述电流补偿模块的输入端接收所述量化模块的量化值，并进行电流补偿后输出，所称补偿是根据所述变节距弹性元件所接收的刚性控制电流的电流值进行对应的补偿，输出最终的补偿后的校正值。本发明采用变节距弹性元件，可以有效的预防共振的发生，保障了数据的安全性，同时采用的电流补偿模块可以确保测量精度。