一种基于空间整形飞秒激光分层扫描的异形孔加工系统

摘要

本发明涉及一种基于空间整形飞秒激光分层扫描的异形孔加工方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明的加工系统，采用空间整形技术，将传统空间上呈高斯分布的飞秒激光整形成为聚焦后具有均匀能量分布的平顶光束，设定激光扫描的路径与参数，实现高质量的复杂异形孔加工。本发明的空间整形飞秒激光应用于异形孔扫描时，由于整形后的平顶光束能量分布较为平均，可以有效避免烧蚀不均匀带来的加工结果的不理想。本发明的空间整形飞秒激光，应用于异形孔扫描时，通过扫描路径的分层设计，可以便于调节异形孔的形状、尺寸、深度以及锥度，实现高自由度的异形孔加工。