公开/公告号CN110872560A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-10
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳先进技术研究院;广州中国科学院先进技术研究所;
申请/专利号CN201811020858.9
申请日2018-09-03
分类号
代理机构广州容大专利代理事务所(普通合伙);
代理人刘新年
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
入库时间 2023-12-17 05:09:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C12M1/42 申请日:20180903
实质审查的生效
2020-03-10
公开
公开
机译: 形成电极的微间距电极和微间距电极单元的方法
机译: 电极间距离可调的微等离子体反应器,用于表面处理
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