平面磁控阴极

摘要

本发明公开了一种平面磁控阴极，该平面磁控阴极包括：核体，所述核体上嵌有磁体，所述磁体上设置有一个通道；铜板，所述铜板密封所述通道；靶材，所述靶材由多个靶块拼接形成，且固接于所述铜板。本发明的平面磁控阴极可以防止热膨胀。

说明书

技术领域

本发明涉及溅射源，具体地，涉及一种平面磁控阴极。

背景技术

在现有技术中的平面磁控阴极工作的时候温度很高，在高温的环境下，平面磁控阴极的工作效率降低，在高温环境下，平面磁控阴极会发生热膨胀，这样会降低平面磁控阴极的稳定性，那么设计一种低温的平面磁控阴极成为一种亟需解决的问题。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术中平面磁控阴极会发生热膨胀的问题，提供一种平面磁控阴极，该平面磁控阴极可以防止热膨胀。

为了实现上述目的，本发明提供了一种平面磁控阴极，该平面磁控阴极包括：核体，所述核体上嵌有磁体，所述磁体上设置有一个通道；

铜板，所述铜板密封所述通道；

靶材，所述靶材由多个靶块拼接形成，且固接于所述铜板。

优选地，所述核体通过绝缘块固定于框架内。

优选地，所述靶材通过螺栓固定于所述铜板上。

优选地，所述靶材通过钳子钳于所述铜板上。

优选地，所述核体上还设置有水接头，所述水接头通过水路接受冷却水。

优选地，所述水路包括：依次连通的第一段水管、热缩管和第二段水管，所述第一段水管连通于所述水接头，在所述热缩管的外表面还设置有绝缘组件。

优选地，所述第一段水管的外表面和水接头的外表面设置有绝缘层。

优选地，所述水路还包括：盖板以及设置于所述盖板上的环形圈，所述盖板设置于所述核体的外表面，且通过环形圈夹持所述绝缘组件。

优选地，所述第二段水管的外表面还分别套接有、高压钳以及笼夹。

优选地，所述铜板的表面与所述靶材的表面相接触。

通过上述实施方式，本发明的平面磁控阴极通过铜板对靶材进行散热，避免了所述靶材的温度过高，且通过多个靶块拼接形成的靶材，能够降低热膨胀，加快靶块的散热。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

具体实施方式

以下对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“内、外”是指轮廓结构上的内与外。“远、近”是指相对于某个部件的内与外。

本发明提供一种平面磁控阴极，该平面磁控阴极包括：核体，所述核体上嵌有磁体，所述磁体上设置有一个通道；

铜板，所述铜板密封所述通道；

靶材，所述靶材由多个靶块拼接形成，且固接于所述铜板。

通过上述实施方式，本发明的平面磁控阴极通过铜板对靶材进行散热，避免了所述靶材的温度过高，且通过多个靶块拼接形成的靶材，多个靶块之间通过压条进行连接，能够降低热膨胀，加快靶块的散热。

以下对本发明进行进一步的说明，在本发明中的平面磁控阴极可以加快散热。

在该种实施方式中，其中，核体必须是和大地之间绝缘，因此，为了将核体固定且与大地绝缘，所述核体通过绝缘块固定于框架内。

在该种实施方式中，在本发明的靶材上，需要对靶材进行固定，一方面给靶材一个支撑点，另一方面也使得靶材能够通过铜板进行散热，所述靶材通过螺栓固定于所述铜板上。

在另一种实施方式中，所述靶材还可以通过钳子钳于所述铜板上，这样的方式将更加方便靶材的更换与拆卸，对于实现本发明的实施方式来说更加简单实用。

在本发明的一种实施方式中，核体在工作的时候有很高的热量，靶材正因为这样的热量很容易就受热膨胀影响靶材的工作，那么怎样才能降低热量，作为本发明的宗旨，采用水冷却法，所述核体上还设置有水接头，所述水接头通过水路接受冷却水，这样的方式不仅仅可以给所述核体提供电流同时也可以为核体提供冷却水。

在该种实施方式中，为了实现上述水路冷却的方式，所述水路还包括：依次连通的第一段水管、热缩管和第二段水管，所述第一段水管连通于所述水接头，在所述热缩管的外表面还设置有绝缘组件，其中，将水管分成三段，其中热缩管能够随着温度的变化改变直径，这样能够控制水的流速，如果温度升高，热缩管变窄，水流速增加，这样加快了核体的冷却。

在该种实施方式中，为了实现本发明，水接头和第一段水管需要与大地绝缘，因此，所述第一段水管的外表面和水接头的外表面设置有绝缘层。

在该种实施方式中，为了方便用盖板将水路封闭，所述水路还可以包括：盖板以及设置于所述盖板上的环形圈，所述盖板设置于所述核体的外表面，且通过环形圈夹持所述绝缘组件，通过环形圈的设置使得本发明的平面磁控阴极能够封闭的更好。

在该种实施方式中，所述第二段水管的外表面还分别套接有高压钳以及 笼夹。

在该种实施方式中，由于铜板可以导热，为了让靶材更容易散热，所述铜板的表面与所述靶材的表面相接触。

以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。