超短脉冲激光诱导自组装特性进行大面积光栅制作方法

摘要

一种超短脉冲激光诱导自组装特性进行大面积光栅制作方法，包括基板制备、多束脉冲激光并行处理方式和表面光栅结构向石英玻璃衬底转移。该方法在激光光斑辐照的直径范围内，会自发形成周期精度很高的光栅结构，且其光栅结构可以无缝、整齐地随着激光光斑的移动扫描进行大面积自发生长；该方法具有光栅的制作速度高、光栅面积大、高质量和激光诱导自组装的特点。