超短パルスレーザによる金属表面への微細形状大面積直接加工

摘要

当社では、従来の機械加工では非常に困難である、止まり溝や深いマイクロレンズ形状を持つ金型や難削材、また近年特に大型化が進んでいるFPD (Flat Panel Display)に用いられるシート成形用大型ロール金型への加工手段として、以上の特長を有する超短パルスレーザ加工に着目し、開発を行っている。本稿では、構築した微細形状加工システムと、いくつかの加工例について紹介する。