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一种AlSiC复合基板的高性能绝缘层

摘要

本发明公开了一种AlSiC复合基板的高性能绝缘层,包括AlSiC复合基板、类钻碳薄膜和氮化铝薄膜,所述类钻碳薄膜沉积在AlSiC复合基板上;所述氮化铝薄膜沉积在类钻碳薄膜上。本发明的AlSiC复合基板的高性能绝缘层,具有结构简单、导热性能好、绝缘性能优异的优点。

著录项

  • 公开/公告号CN104347782A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-02-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华南理工大学;

    申请/专利号CN201410604491.0

  • 发明设计人 李国强;凌嘉辉;杨美娟;

    申请日2014-10-31

  • 分类号H01L33/48;H01L33/64;

  • 代理机构广州市华学知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈文姬

  • 地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号

  • 入库时间 2023-12-17 04:27:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-04-06

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L33/48 申请公布日:20150211 申请日:20141031

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2015-03-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/48 申请日:20141031

    实质审查的生效

  • 2015-02-11

    公开

    公开

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