一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置

摘要

本发明公开了一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，它包括基板（4）、离子掩模块（3）、导向块镶板（2）和盖板（1），基板（4）、离子掩模块（3）、导向块镶板（2）和盖板（1）通过螺钉（8）固定在一起，基板（4）上开设有放置孔（10），导向块镶板（3）上开设有导向块镶嵌孔（11），导向块镶嵌孔（11）四壁上镶嵌有带有锥度的导向块（9），离子掩模块（3）上开设有离子掩模孔（7），基板（4）离子刻蚀位置开设有离子束通过孔（6）。本发明的有益效果是：它改善了SMD石英谐振器离子刻蚀的插入率，并且提高了产品的定位精度以及提高了产品生产良率。