基于离子刻蚀的石英晶振频率微调技术研究

摘要

石英晶振是利用晶体的压电效应制成的一种晶体振荡器。因为它具有高稳定性、高精度和低功耗等特点，被广泛应用于各种电器产品中。近年来，各生产企业为了在激烈的市场竞争中取得胜利，不断进行改善，提高产品的性能，降低产品的成本。本论文通过对离子刻蚀技术的探讨，对石英晶振的离子刻蚀频率微调进行研究。最后通过实验，明确了离子刻蚀频率加工时，刻蚀速度的设定，从而改善了离子刻蚀频率微调的加工工艺。使得加工效率和制品的良品率得到了很大的提高。
　　 论文的主要工作成果：1.通过实验，对离子刻蚀后频率产生的偏移规律进行研究，在此基础上明确了刻蚀速度的设定方法，并经过实验数据统计出最优的刻蚀速率。2。通过实际刻蚀速度和设定刻蚀速度的比较，得出了离子枪工作状态确认的方法，以便及时发现异常并对离子枪进行维修和保养。通过以上两点可以直接提高离子刻蚀频率微调的加工效率和良品率。