法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-15
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N11/00 申请公布日:20141224 申请日:20140923
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N11/00 申请日:20140923
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
机译: 等离子体刻蚀装置的电极引入气体的测量方法电极再生方法电极植入等离子体的装置和气体引入孔隙状态分布图的气体的显示方法
机译: 等离子体刻蚀装置的电极中引入气体的测量方法,电极,电极再生方法,再生电极,等离子体刻蚀器中的气体以及引入孔态分布图的气体及其显示方法
机译: 等离子体刻蚀装置的电极中引入气体的测量方法,电极,电极再生方法,再生电极,等离子体刻蚀器中的气体以及引入孔态分布图的气体及其显示方法