一种使用椭偏仪测量光学薄膜偏振保真度的方法

摘要

本发明提供一种使用椭偏仪测量光学薄膜偏振保真度的方法，根据椭圆偏振光的理论基础，建立光学薄膜的偏振保真度与相位延迟之间关系，再通过可变角椭偏仪测量线偏振光经过单个光学薄膜元件反射后的相位延迟，确定光学薄膜的偏振保真度。该方法具有简单，方式灵活，测量速度快，应用范围广等优点。