用于创建等离子体处理系统的数学模型的方法和阵列

摘要

本发明涉及一种用于创建等离子体处理系统的简化的等效电路模型的方法，该模型包括电气测量装置、下电极、上电极、以及信号发生器装置。该方法包括创建简化的等效电路方程，其包括等离子体处理系统的变量集，其中，电气测量装置包括第一变量子集，下电极包括第二变量子集，上电极包括第三变量子集，以及信号发生器装置包括第四变量子集。该方法还包括产生一组信号，该组信号中的每个信号都在不同频率生成，其中，信号发生器装置连接至电气测量装置、下电极、以及上电极。该方法还包括用电气测量装置测量该组信号，其中，生成至少一个测量的信号用于该变量集中的每个变量；以及，创建来自该组信号的简化的等效电路模型。