用于微细加工原子钟、磁力计和其他装置的具有由通道连接的腔的汽室结构

摘要

本发明涉及用于微细加工原子钟、磁力计和其他装置的具有由通道连接的腔的汽室结构。第一设备包括具有由多个通道流体连接的第一腔和第二腔的汽室。所述第一腔被配置以接收能够分解成包含在所述汽室内的一种或更多种气体的材料。所述第二腔被配置以接收所述一种或更多种气体。所述汽室被配置以允许辐射穿过所述第二腔。第二设备包括具有第一晶片和第二晶片的汽室，第一晶片具有第一腔和第二腔，第二晶片具有流体连接所述腔的一个或更多个通道。第一腔被配置以接收能够分解成包含在所述汽室内的一种或更多种气体的材料。所述第二腔被配置以接收所述一种或更多种气体。所述汽室被配置以允许辐射穿过第二腔。