多元系的纳米粒子膜形成装置及使用该装置的纳米粒子膜形成方法

摘要

本发明的多元系的纳米粒子膜形成装置(1)具有：生成室(2)，其配设有多个金属材料(4a～4c)，由纳米粒子(8a～8c)生成多元系的纳米粒子(9)；成膜室(3)，其配设有基板(7)；粒子化单元(11a～11c)，其对应于多个金属材料(4a～4c)的各个而配设于生成室(2)内，粒子化单元(11a～11c)具有覆盖金属材料(4a～4c)的容器(12a～12c)、配设于容器(12a～12c)内的加热器(15a～15c)、设于容器(12a～12c)的用于使纳米粒子(8a～8c)流出的流出口(13a～13c)、设于容器(12a～12c)的用于导入冷却气体的导入口(14a～14c)。